日前,英特尔首席执行官保罗·欧德宁(Paul Otellini)向媒体表示,不管目前45纳米晶圆厂遇到多大的阻力,英特尔都在这方面处于领先地位,并且英特尔愿意与IC设备制造企业合作开拓这一领域。
根据英特尔的发展计划,英特尔预计在2012年全面实现45纳米制造。据报道,因为有英特尔的大力支持,全球半导体制造联盟Sematech正努力为将来的45纳米晶圆厂寻找更多简单和直接的发展道路。不过最近Sematech联盟要加速业界向45纳米过渡的方案却引起不小争议,因为这个方案破坏了芯片制造商与Sematech之间的友好合作关系,同时也引起业界关于由谁来支助下一代晶圆厂设备研发的讨论。
不过在上周英特尔发布45纳米Penryn处理器时,欧德宁曾向外表示,英特尔对过渡到45纳米晶圆厂十分感兴趣,虽然英特尔还没有为下一代晶圆厂采用何种尺寸的工艺制定时间表,但是“英特尔一定会与设备制造业保持一致。”据观察家分析,如果业界向下一代晶片尺寸过渡,不少英特尔的关键晶圆厂设备供应商有可能停止研发45纳米产品制造设备,这些设备供应商涉及日立(Hitachi)、荷兰半导体厂商ASMI、美国的专业半导体厂商KLA-Tencor、尼康(Nikon)、Novellus、Varian等。
现在还不清楚哪家公司将为45纳米晶圆厂设备研发买单。因为担心45纳米制造设备收效甚微,所以大多数行内企业都不愿意为此投资。但奇怪的是,这些设备制造商又表示如果芯片制造商愿意支付研发费用的话,他们很乐意研发45纳米技术。实际上,英特尔在最近几年已经为设备研发付出大量的金钱代价。英特尔副总裁兼技术制造部总经理William Holt说,英特尔“已经为30纳米设备支付了大量资金”,所以英特尔不会再为整个45纳米设备的研发承担全部费用。
英特尔和AMD都在近期推出了新系列处理器:英特尔方面的是16款45纳米Penryn处理器,AMD的则是65纳米Phenom原生四核处理器。欧德宁说,从处理工艺角度看,英特尔“明显走在技术的最前沿”,而英特尔也正在为全面进入45纳米时代做准备。相比之下,AMD则暂时没有45纳米产品的生产计划。目前英特尔正在使用的30纳米晶圆厂不下4个,这些晶圆厂都具备生产45纳米产品的能力。今年下半年,英特尔还把位于美国亚利桑那州钱得市(Chandler)的Fab 32工厂调整为生产45纳米产品;到明年下半年,英特尔还计划在以色列和美国新墨西哥州分别兴建45纳米的晶圆厂Fab 28和Fab 11x。 |